長瀬産業グループのインクロンは、シロキサンをベースとした光学的にクリアなナノインプリントリソグラフィー（NIL）材料のグローバルリーダーとして、NIL材料および部品開発インフラへの戦略的投資を行う。この投資は、拡張現実（AR）メガネ、3Dセンサー、その他の回折光学素子（DOE）の重要なコンポーネントに必要とされる高性能光学材料の開発を大幅に加速させるものである。今回の投資により、迅速なターンアラウンドタイムと強化された性能を備えたカスタマイズされた光学NIL材料を顧客に提供するインクロンの能力は、大幅に改善される。これにより、インクロンは、顧客に部品のプロトタイピングや少量生産サービスを提供することができるようになる。
今回の投資の礎となるのは、EV Group（EVG）からのEVG®7200自動UV NILシステムの購入と設置である。EVG 7200システムは、EVGの革新的なSmartNIL®技術と材料の専門知識を活用して、マイクロおよびナノスケールの構造物を比類ない品質で大量生産することを可能にします。このシステムは、低荷重でコンフォーマルなインプリント、高速ハイパワー露光、スムーズなスタンプ剥離を提供し、比類のないスループットと低所有コストを実現します。SmartNIL技術を搭載したEVG 7200システムは、導波路やDOEを含む次世代フォトニックデバイスの量産に理想的で、ARやバーチャルリアリティ（VR）などのアプリケーションに適しています。これらの機能に加えて、インクロンに出荷されたツールには、高輝度UVステーション、加熱チャック、マイクロレンズ成形アプリケーション向けのソフトUV-NILのサポートが含まれている。
インクロンは、2.0までの幅広い屈折率（RI）範囲のNIL加工可能な材料を提供している。NIL材料は、RIが1.1という低RIのオーバーコート、ギャップフィル、平坦化コーティングで補完されています。これらの材料プラットフォームとEVG 7200システムの組み合わせは、特定のデバイスのための樹脂とプロセスの慎重な最適化を可能にしながら、ターンアラウンドタイムを短縮した新規光学部品開発のための理想的なインフラストラクチャを提供します。インクロンは、NIL装置に加えて、デバイスの性能および信頼性試験を含む光学構造体の製造および試験装置にも多額の投資を行っており、今後も継続していく。インクロンのNILエコシステムをサポートするために、材料科学者、リソグラフィプロセスエンジニア、フォトニクスの専門家を中心とした専門チームが設立され、副社長のJanne Kylmä博士がその責任者を務めている。NIL活動の商業面では、インクロンのオペレーション担当副社長ユッカ・ペレント氏が指揮を執っている。
"EVグループは、NILPhotonicsコンピテンスセンターを通じて、フォトニクスのサプライチェーン全体からインクロンのような企業と提携し、当社のNIL技術と専門知識を活用して、新しいデバイスやアプリケーションの開発を加速させています。"インクロンとの協力は、次世代の光学デバイスの製造に不可欠な高度な光学レジストの開発におけるインクロンの取り組みを支援する機会を与えてくれます。
"私たちは、最適化された革新的な新しい光学樹脂技術の開発を加速させることに興奮しています。新しいEVG 7200システムは、この戦略的な動きにおいて重要な役割を果たしています。これらの新機能は、お客様の重要な性能ロードマップに対応するのに役立ち、お客様の成功に貢献します」とJukka Perentoは述べています。"当社のナノインプリント可能な高屈折率材料と適合するギャップ充填コーティングは、EVGのNILシステムと組み合わせて、光学メーカーが最新の開発品の生産を迅速にスケールアップするために必要とする重要なウェハレベルのソリューションを提供します。
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